новости компании о За пределами давления: фланцы в вакуумных системах

В то время как основная функция большинстваметаллические фланцыОни играют не менее важную, но часто обратную роль ввакуумные системыВ этих приложениях задача заключается не в том, чтобы предотвратить утечку жидкости, а в том, чтобы предотвратить попадание в систему нежелательных атмосферных газов, обеспечивая сверхчистую среду с низким давлением.Это требует еще более строгих стандартов для уплотнения и вывозки материалов.

Вакуумные системы необходимы для широкого спектра отраслей промышленности:

• Производство полупроводников:Создание сверхчистых вакуумных камер для размещения тонких пленок и гравирования микрочипов, где даже одна нечистота может испортить партию.
• Симуляция космоса:Испытание компонентов космического аппарата в условиях, напоминающих условия космического пространства.
• Исследования и разработки:Ускорители частиц, электронные микроскопы и различные научные эксперименты используют среды с высоким вакуумом или сверхвысоким вакуумом (УВВ).
• Технологии покрытия:Процессы, такие как физическое отложение паров (PVD) для твердых покрытий или оптических покрытий.
• Обработка пищевых продуктов:Липосушение или вакуумная упаковка.

Уникальные проблемы фланцев в вакуумных системах:

1. Пропускная плотность:

   • В то время как системы давления могут переносить незначительные утечки, вакуумные системы требуют исключительно высокой степени герметичности.может значительно ухудшить уровень вакуума и загрязнить процесс.
   • Это требует невероятно точной обработки поверхностей фланцев и использования специализированных уплотнений, предназначенных для вакуумного обслуживания.

2. Выброс газов:

   • Это высвобождение застрявших газов из материалов в вакуумную среду.это основной источник загрязнения и может ограничить достижимый уровень вакуума.
   • Материалы фланцев, уплотнителей и даже смазочных материалов для болтов должны быть выбраны из-за их чрезвычайно низких свойств выброса газов.преимущественно вакуумно расплавленные.

3. Выпечка:

   • Многие вакуумные системы, особенно UHV, проходят процедуру "выпечки", когда вся система нагревается до нескольких сотен градусов по Цельсию под вакуумом.отталкивание адсорбированных газов от внутренних поверхностей, и помогает достичь более низкого давления.
   • Фланцы, уплотнения и болты должны выдерживать температуру выпечки без деградации или деформации.

Специализированные фланцы для вакуумных применений:

• Фланги из нагнетания (CF):Это золотой стандарт для применения UHV. Они имеют точно обработанные ножевые края, которые кусают в мягкиймедная уплотнительМеханизм уплотнения опирается на пластическую деформацию медного уплотнения при сжатии краев ножа, создавая прочную, готовую к печению и высокопроницаемую уплотнение металл-металл.Фланцы CF обычно изготовлены из нержавеющей стали.
• ISO-KF и ISO-K фланцы:Они широко используются для грубых и высоковакуумных применений.эластомерные O-кольцаПри этом их легче собрать и разобрать, чем фланцы CF, но они не могут использоваться в качестве проб.они, как правило, не поддаются выпечке при высоких температурах и имеют более высокие показатели выброса газов, чем CF, ограничивая их использование в УГВ.
  • ISO-KF (Фланцы с застежкой на лапы):Меньший диаметр, часто используется с клешнями для быстрой сборки.
  • ISO-K (закрученные фланцы):Больший диаметр, обычно болты, как стандартные трубные фланцы.
• Специальные вакуумные фланцы:Многие вакуумные системы требуют высокоспециализированных или специально разработанных фланцев для интеграции уникальных компонентов, часто с несколькими портами или сложной геометрией,но при этом придерживаясь принципов герметичности и низкого выброса газов.

Ключевые соображения для вакуумных фланцев:

• Чистота материала:Использование материалов с низким уровнем примесей для минимизации выбросов газов.
• Окончание поверхности:Высококачественная гладкая поверхность имеет решающее значение для минимизации площади поверхности для адсорбции газа и обеспечения правильного закрепления уплотнителя.
• Процедуры очистки:Вакуумные компоненты, включая фланцы, проходят строгие процессы очистки (например, ультразвуковая очистка, электрополировка) для удаления загрязнителей, которые могут выделяться.
• Застегивание:Необходимы вакуумные болты и гайки с низкими свойствами выброса газов и соответствующими смазочными материалами (если таковые имеются).

Подводя итог, хотя цель обратная (держание воздуха вне, а не жидкости внутри), требования к металлическим фланцам в вакуумных системах, возможно, даже более строги, чем в приложениях под давлением.Они представляют собой специализированную область техники, где тщательное проектирование, чистота материала и абсолютная герметичность имеют первостепенное значение для достижения и поддержания точных атмосферных условий, необходимых для передовых технологий и научных прорывов.